T/FJAS 006-2024 濕電子化學(xué)品 再生光阻剝離液

范圍

本文件規(guī)定了再生光阻剝離液的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。

本文件適用于以濕電子化學(xué)品行業(yè)含光阻剝離液回收液為原料，經(jīng)過提純的光阻剝離液再生產(chǎn)品(以下簡(jiǎn)稱產(chǎn)品)，主要用于顯示面板制造行業(yè)等。

術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件。

濕電子化學(xué)品  wet chemicals

濕電子化學(xué)品又稱超凈高純電子化學(xué)品，是微電子、光電子濕法工藝(主要包括濕法刻蝕、清洗、顯影、剝離等環(huán)節(jié))中使用的各種液體化工材料。

光阻剝離液

一種有機(jī)混合物，主要用于面板制造行業(yè)的光阻剝離，主要成分為乙醇胺(MEA)和二甲基亞砜(DMSO)。

回收液  Iiquid recycIing

主要成分乙醇胺(MEA)、二甲基亞砜(DMSO)、廢光刻膠、水分、金屬雜質(zhì)等。

技術(shù)要求

產(chǎn)品的質(zhì)量技術(shù)指標(biāo)應(yīng)符合表1的要求。

試驗(yàn)方法

水分的測(cè)定

按 GB/T 6283 的規(guī)定進(jìn)行測(cè)定。

GB/T 6283-2008 化工產(chǎn)品中水分含量的測(cè)定 卡爾·費(fèi)休法(通用方法)

艾瑞斯ARS-WL500卡爾費(fèi)休庫侖法微量水分測(cè)定儀